特許

J-GLOBAL ID：200903085556326240

液晶表示装置

発明者： 小野塚 豊 ,  上田 知正
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-253737
公開番号（公開出願番号）：特開平9-096836
出願日： 1995年09月29日
公開日（公表日）： 1997年04月08日
要約：

【要約】【課題】 オフ電流の少ない薄膜トランジスタを具備する、表示特性の良好な反射型液晶表示装置を提供すること。【解決手段】 絶縁基板と、この絶縁基板上に形成されたゲ-ト電極と、このゲ-ト電極上に絶縁膜を間に介して形成されたアモルファスシリコンからなる活性層とを有する薄膜トランジスタを具備し、前記活性層の、前記ゲート電極と反対側の面から50nm以内の範囲の領域に、0.1原子%以上の第0族元素が含有され、それ以外の領域には、第0族元素は含有されないか、又は0.1原子%未満しか含有されていないことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

絶縁基板と、この絶縁基板上に形成されたゲ-ト電極と、このゲ-ト電極上に絶縁膜を間に介して形成されたアモルファスシリコンからなる活性層とを有する薄膜トランジスタを具備し、前記活性層の、前記ゲート電極と反対側の面から50nm以内の範囲の領域に、0.1原子%以上の第0族元素が含有され、それ以外の領域には、第0族元素は含有されないか、又は0.1原子%未満しか含有されていないことを特徴とする液晶表示装置。

IPC (2件)：

G02F 1/136 500 ,  H01L 29/786

FI (2件)：

G02F 1/136 500 ,  H01L 29/78 618 G