特許

J-GLOBAL ID：200903085557325132

走査型プロ-ブ顕微鏡の探針移動制御方法

発明者： 森本 高史
出願人/特許権者： 日立建機株式会社
代理人 (1件)： 田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-016794
公開番号（公開出願番号）：特開2000-214067
出願日： 1999年01月26日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：

【要約】【課題】試料表面の縁などを正確に観察できる走査型プローブ顕微鏡の探針移動制御方法を提供する。【解決手段】試料11の表面を測定する探針15と、走査移動用アクチュエータと高さ調整用アクチュエータを含むトライポッド12と、走査の間、探針と試料の間に生じる物理量を利用して高さ調整用アクチュエータの動作を制御して探針と試料の間隔を一定に保つ制御系とを備える走査型プローブ顕微鏡で、探針と試料の間に設定された物理量の保持が不能になったとき、変位制限部21で探針の高さ調整用アクチュエータの伸び動作を一定範囲に制限する。

請求項（抜粋）：

試料の表面を測定する探針と、走査移動用アクチュエータと高さ調整用アクチュエータを含む微動機構と、走査の間、前記探針と前記試料の間に生じる物理量を利用して前記高さ調整用アクチュエータの動作を制御して前記探針と前記試料の間隔を一定に保つ制御系とを備える走査型プローブ顕微鏡において、前記探針と前記試料の間に設定された前記物理量の保持が不能になったとき、前記探針の前記高さ調整用アクチュエータの伸び動作を一定範囲に制限することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡の探針移動制御方法。

IPC (4件)：

G01N 13/16 ,  G01N 13/10 ,  G01B 21/30 ,  G12B 1/00 601

FI (4件)：

G01N 37/00 F ,  G01N 37/00 U ,  G01B 21/30 Z ,  G12B 1/00 601 A

Fターム (13件)：

2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069BB40 ,  2F069DD01 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG20 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069LL03 ,  2F069MM24 ,  2F069MM34