特許

J-GLOBAL ID：200903085563004291

変形鏡を駆動するシステム

発明者： アントン フィリップス ,  マイケル ソガード
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-173242
公開番号（公開出願番号）：特開2004-047994
出願日： 2003年06月18日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：

【課題】光学素子の部分を変形させる機械的アクチュエータは、安定性、ヒステリシス等の多くの問題があった。【解決手段】アクチュエータにより発生させた力を、それぞれ離れた場所で機械的係合により材料体へ加え、相対するアクチュエータにより発生させた力が加わった材料体の表面形状を安定させるためのクランプを用いて機械的係合を制限する【選択図】図1

請求項（抜粋）：

変形光学素子と、機械的リンクを通じて前記変形光学素子へ力を加えるアクチュエータと、前記機械的リンクの動きを阻止することにより前記力を維持するように構成した受動的素子と、を含む補償光学システム。

IPC (4件)：

H01L21/027 ,  G02B5/10 ,  G02B7/182 ,  G03F7/20

FI (5件)：

H01L21/30 515D ,  G02B5/10 B ,  G03F7/20 503 ,  H01L21/30 517 ,  G02B7/18 Z

Fターム (18件)：

2H042DA20 ,  2H042DD11 ,  2H042DE00 ,  2H043CA03 ,  2H043CA10 ,  2H043CB02 ,  2H043CD02 ,  2H043CE00 ,  2H097AA02 ,  2H097BA10 ,  2H097BB10 ,  2H097CA15 ,  2H097EA01 ,  2H097GB01 ,  2H097LA10 ,  5F046BA05 ,  5F046CB02 ,  5F046DA13