特許

J-GLOBAL ID：200903085572327850

光ディスク原盤露光装置

発明者： 水田 治
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 小島 俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-149552
公開番号（公開出願番号）：特開2002-342988
出願日： 2001年05月18日
公開日（公表日）： 2002年11月29日
要約：

【要約】【課題】安定して高密度な光ディスク原盤露光を効率良く行うことができるとともに回転している光ディスク原盤の回転中心からの偏芯による振動を低減する。【解決手段】光ディスク原盤であるレジスト板2の外周端面に傾斜面30を形成し、駆動ユニット6のターンテーブル17に設けたチャック機構部31でレジスト板2の外周端面の傾斜面30の複数個所を押えて固定し、レジスト板2の偏芯を除去して、レジスト板2の回転中心をターンテーブル17の回転中心と確実に一致させ、レジスト板2を回転しながら電子ビームを照射しているときに、レジスト板2に振動が発生することを防止する。

請求項（抜粋）：

真空容器内に設置された駆動ユニットにより光ディスク原盤を保持して回転と移動をさせながら、電子ビームユニットから光ディスク原盤に電子ビームを照射して露光するする光ディスク原盤露光装置において、光ディスク原盤の外周端面に傾斜面を形成し、駆動ユニットには光ディスク原盤の外周端面の傾斜面の複数個所を押えて固定するチャック機構部を設けたことを特徴とする光ディスク原盤露光装置。

IPC (3件)：

G11B 7/26 501 ,  G03F 7/20 501 ,  G03F 7/20 504

FI (3件)：

G11B 7/26 501 ,  G03F 7/20 501 ,  G03F 7/20 504

Fターム (13件)：

2H097AA03 ,  2H097AB07 ,  2H097BA10 ,  2H097CA16 ,  2H097DB01 ,  2H097DC10 ,  2H097FA09 ,  2H097LA20 ,  5D121BA01 ,  5D121BB01 ,  5D121BB21 ,  5D121BB38 ,  5D121GG20