特許
J-GLOBAL ID：200903085576497432
ターボ分子ポンプ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-189949
公開番号（公開出願番号）：特開2002-005078
出願日： 2000年06月23日
公開日（公表日）： 2002年01月09日
要約：
【要約】【課題】 内部のガスの流れをより円滑にして排気性能の低下を防止したターボ分子ポンプを提供する。【解決手段】 ケーシング10の内部に、ロータR側の回転翼36とステータS側の固定翼38が交互に配置され、固定翼38または回転翼36の互いに対向する面の少なくとも一方に螺旋状の凹凸を形成した径方向翼排気部L2を有し、この径方向翼排気部L2の1段目の固定翼38または回転翼36の少なくとも一方が、流れ方向に向かって薄肉となる形状に形成されている。
請求項（抜粋）：
ケーシング内部に、ロータ側の回転翼とステータ側の固定翼が交互に配置され、前記固定翼または回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に螺旋状の凹凸を形成した径方向翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、前記径方向翼排気部の1段目の固定翼または回転翼の少なくとも一方が、流れ方向に向かって薄肉となる形状に形成されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
FI (2件)：
F04D 19/04 D
, F04D 19/04 E
3H031DA01
, 3H031DA02
, 3H031DA08
, 3H031EA00
, 3H031FA01
, 3H031FA02
