特許

J-GLOBAL ID：200903085576991836

薄膜ガスセンサおよびそれを用いたガス警報器

発明者： 鈴木 卓弥 ,  小野寺 克己 ,  河田 泰之 ,  井上 文宏 ,  津田 孝一
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 谷 義一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-061917
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258374
出願日： 1999年03月09日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】 低消費電力、かつ高感度の薄膜ガスセンサおよびこれを用いたガス漏れ警報器の提供。【解決手段】 絶縁層と感応層との間に、電気抵抗率が感応層よりも高く、かつ結晶性の高い下地層を設け、感応層のモルフォロジーを改善する。

請求項（抜粋）：

薄膜ガスセンサにおいて、SnO2 を含む感応層の下地として、電気抵抗率が前記感応層におけるよりも高く、かつ結晶性の高い下地層を設けることを特徴とする薄膜ガスセンサ。

IPC (2件)：

G01N 27/12 ,  G08B 21/00

FI (2件)：

G01N 27/12 B ,  G08B 21/00 W

Fターム (31件)：

2G046AA11 ,  2G046AA19 ,  2G046AA21 ,  2G046AA24 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BB04 ,  2G046BE03 ,  2G046DB04 ,  2G046DB05 ,  2G046DC09 ,  2G046DD01 ,  2G046EA04 ,  2G046FB02 ,  2G046FE04 ,  2G046FE07 ,  2G046FE09 ,  2G046FE10 ,  2G046FE11 ,  2G046FE12 ,  2G046FE20 ,  2G046FE21 ,  2G046FE25 ,  2G046FE38 ,  2G046FE39 ,  2G046FE40 ,  2G046FE44 ,  2G046FE45 ,  2G046FE48 ,  2G046FE49