抵抗変化式センサのクリーニング方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：加藤朝道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-292152
公開番号（公開出願番号）：特開2003-098140
出願日： 2001年09月25日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
要約：

【要約】【課題】高精度でしかも安定性に優れた検出を可能にする抵抗変化式センサのクリーニング方法を提供すること。【解決手段】低酸素濃度ないし還元性ガスが含まれる雰囲気、若しくは、内燃機関の排気ガス雰囲気で使用されるとともに、酸化物セラミックス系材料から主として形成された素子部を有する抵抗変化式センサのクリーニング方法において、前記素子部を900〜1200°Cの温度で加熱クリーニングする工程を含むことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

低酸素濃度ないし還元性ガスが含まれる雰囲気、若しくは、内燃機関の排気ガス雰囲気で使用されるとともに、酸化物セラミックス系材料から主として形成された素子部を有する抵抗変化式センサのクリーニング方法において、前記素子部を900〜1200°Cの温度で加熱クリーニングする工程を含むことを特徴とする抵抗変化式センサのクリーニング方法。

IPC (2件)：

G01N 27/12 , G01N 27/02

FI (3件)：

G01N 27/12 E , G01N 27/12 J , G01N 27/02 A

Fターム (43件)：

2G046AA09 , 2G046AA11 , 2G046AA13 , 2G046AA22 , 2G046AA23 , 2G046BA01 , 2G046BB02 , 2G046BE03 , 2G046BF01 , 2G046BG04 , 2G046DB03 , 2G046DB04 , 2G046DB05 , 2G046EB06 , 2G046EB07 , 2G046FB02 , 2G046FE00 , 2G046FE03 , 2G046FE31 , 2G046FE39 , 2G046FE44 , 2G060AA01 , 2G060AB02 , 2G060AB08 , 2G060AB10 , 2G060AB16 , 2G060AB19 , 2G060AE19 , 2G060AE40 , 2G060AF06 , 2G060AF07 , 2G060AG08 , 2G060AG11 , 2G060BA01 , 2G060BB09 , 2G060BC02 , 2G060BD02 , 2G060HA02 , 2G060HB03 , 2G060HB05 , 2G060HB06 , 2G060HC02 , 2G060KA04

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