特許

J-GLOBAL ID：200903085603042132

研磨用組成物

発明者： 戸松 正利
出願人/特許権者： 株式会社フジミインコーポレーテッド
代理人 (2件)： 恩田 博宣 ,  恩田 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-200484
公開番号（公開出願番号）：特開2004-327952
出願日： 2003年07月23日
公開日（公表日）： 2004年11月18日
要約：

【課題】炭化ケイ素部材に対する研磨速度を向上させることができる研磨用組成物を提供する。【解決手段】研磨用組成物は、酸化クロムからなる研磨材と、酸化剤と、硝酸アルミニウム、硝酸ニッケル、硝酸銅、硝酸クロム及び塩化クロムからなる群から選ばれる少なくとも一種の添加剤と、水とを含有する。この研磨用組成物は炭化ケイ素部材の研磨に用いられ、酸化剤や空気中の酸素によって炭化ケイ素を酸化した後、酸化された炭化ケイ素を研磨材により研磨除去する。また、研磨用組成物は研磨材、硝酸クロム及び水を含有し、空気中の酸素によって炭化ケイ素を酸化した後に研磨材により研磨除去する。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

炭化ケイ素部材の研磨に用いられ、酸化クロムからなる研磨材と、酸化剤と、硝酸アルミニウム、硝酸ニッケル、硝酸銅、硝酸クロム及び塩化クロムからなる群から選ばれる少なくとも一種の添加剤と、水とを含有することを特徴とする研磨用組成物。

IPC (4件)：

H01L21/304 ,  B24B37/00 ,  C09K3/14 ,  C09K13/00

FI (5件)：

H01L21/304 622D ,  B24B37/00 H ,  C09K3/14 550D ,  C09K3/14 550Z ,  C09K13/00

Fターム (4件)：

3C058AA07 ,  3C058AC04 ,  3C058CB03 ,  3C058DA17