熱式流量センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-289826
公開番号（公開出願番号）：特開平9-133563
出願日： 1995年11月08日
公開日（公表日）： 1997年05月20日
要約：

【要約】【課題】本発明は、流体の流速が大きい領域でも発熱体に流れる電流が飽和しにくく、流速を精度良く測定することができ、かつ高速応答の熱式流量センサを提供する。【解決手段】発熱体としての第一のダイオードと、測温体としての第二のダイオードが同一基板上に形成されている。第一のダイオードは基板上に形成されたダイヤフラム(又は架橋構造部、カンチレバー等)上に形成されているため、基板とは熱的に絶縁され、熱容量も小さい。一方、第二のダイオードは基板と熱的に結合されて、発熱しにくい。また、発熱体の第一のダイオ-ドおよび測温体の第二のダイオ-ドの両端の電圧差を検知し、第一のダイオ-ドおよび第二のダイオ-ドの順方向には電流密度が等しくなるように電流を流す。第一のダイオ-ドに流れる電流は流体の平方根にほぼ比例するため、従来の熱式流量センサよりも電流が飽和しにくくなる。

請求項（抜粋）：

第一のダイオードと、第二のダイオードと、該第二のダイオードと熱的に結合した基板とからなり、前記第一のダイオードと該基板の間には空間部が形成されて前記第一のダイオードと該基板は熱的に絶縁されるとともに、前記第一のダイオードのpn接合部および該第二のダイオードのpn接合部にほぼ同じ電流密度の順方向電流を流す回路手段を有することを特徴とする熱式流量センサ。

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