特許
J-GLOBAL ID：200903085613850032
水晶片の計測システム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 富士弥 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-135192
公開番号（公開出願番号）：特開2000-321033
出願日： 1999年05月17日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：
【要約】【課題】 水晶の加工状態の検査を目視で行うのでは多くの手間がかかる。振動周波数による検査では形状の定量的な評価ができない。【解決手段】 照明装置12はカメラ13の撮影光軸に合わせた同軸落射照明を行い、ステーション11はワーク(水晶片)のバックグラウンドを無反射にしてカメラで撮影する。画像処理装置15は、カメラの撮影画像からワークの中央部と周辺部の濃度の違いを求め、この濃度の違いからワークの加工形状の評価データを得る。例えば、濃度の違いからワークの中央部の面積又は形状を求め、加工状態が良品の基準水晶片と比較することで加工形状の評価データを得る。パソコン17は、画像処理制御、照明制御、ワーク搬送制御等を行う。
請求項（抜粋）：
ベベル形状またはコンベックス形状に加工された水晶片の加工状態を評価するための水晶片の計測システムであって、水晶片の平面を照射する照明装置と、前記照明装置で照射される水晶片の平面を撮影するカメラと、前記カメラの撮影画像から水晶片の中央部と周辺部の濃度の違いを求め、この濃度の違いから該水晶片の加工形状の評価データを得る画像処理手段と、を備えたことを特徴とする水晶片の計測システム。
Fターム (25件)：
2F065AA46
, 2F065AA58
, 2F065BB22
, 2F065BB23
, 2F065CC00
, 2F065DD06
, 2F065FF01
, 2F065FF04
, 2F065HH13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ19
, 2F065JJ26
, 2F065NN02
, 2F065NN11
, 2F065PP12
, 2F065QQ03
, 2F065QQ24
, 2F065QQ25
, 2F065QQ29
, 2F065QQ31
, 2F065RR08
, 2F065SS02
, 2F065SS04
, 2F065SS13
, 2F065TT03
