特許

J-GLOBAL ID：200903085615832350

2次元微分干渉測定装置

発明者： 池田 誠
出願人/特許権者： 日本板硝子株式会社
代理人 (1件)： 大野 精市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-211006
公開番号（公開出願番号）：特開平8-075407
出願日： 1994年09月05日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：

【要約】【目的】 試料の向きを変えることなく測定できる2次元微分干渉測定装置を提供する。【構成】 外部照明装置からの照明光を観察物体に導き、該物体からの表面反射光ないし透過光を結像レンズによって、目的対象物上に前記物体像を結像する光学装置において、前記照明光は偏光子と波長板を通過したのち前記観察物体を照明し、該物体に導いて得た表面反射光ないし透過光は、1つの入射光線を空間的に2つの光線に分離する機能をもつ第1の光学素子を通過し、さらに波長板あるいは鋭敏色板、第1の光学素子と同じ機能をもつ第2の光学素子、さらに検光子を通過し、この通過した光線によって、前記目的対象物上に前記物体像を結像させる2次元微分干渉測定装置である。

請求項（抜粋）：

外部照明装置からの照明光を観察物体に導き、該物体からの表面反射光ないし透過光を結像レンズによって、目的対象物上に前記物体像を結像する光学装置において、前記照明光は、以下の順に配置された偏光子と波長板を通過したのち前記観察物体を照明し、さらに該物体に導いて得た表面反射光ないし透過光は、1つの入射光線を空間的に2つの光線に分離する機能をもつ第1の光学素子を通過し、さらに以下の順に配置された波長板あるいは鋭敏色板、第1の光学素子と同じ機能をもつ第2の光学素子、さらに検光子を通過し、この通過した光線によって、前記目的対象物上に前記物体像を結像させることを特徴とする2次元微分干渉測定装置。