特許
J-GLOBAL ID：200903085618142591
温度計測装置、露光装置、およびデバイス製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
前田 均
, 西出 眞吾
, 大倉 宏一郎
, 佐藤 美樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-133553
公開番号（公開出願番号）：特開2005-315707
出願日： 2004年04月28日
公開日（公表日）： 2005年11月10日
要約：
【課題】 校正データの入力作業を行うことなく高速且つ高精度な温度計測を実現する。【解決手段】 温度センサ211、温度センサ211に電気的に接続されたコネクタ213、およびコネクタ213内に設けられた温度センサ211の固有の校正データが予め記憶された記憶部214を有する計測ユニット210と、計測開始に先立ち記憶部214から校正データを一括的に読み出し、当該校正データに基づいて温度センサ211により検出される温度情報を補正して計測結果とする演算処理部226を有する本体ユニット220とを備えて構成される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
温度検出手段、前記温度検出手段に電気的に接続された電気回路手段、および前記電気回路手段内に設けられた前記温度検出手段の固有の校正データが予め記憶された第1記憶手段を有する計測ユニットと、
計測開始に先立ち前記第1記憶手段から前記校正データを一括的に読み出し、当該校正データに基づいて前記温度検出手段により検出される温度情報を補正して計測結果とする計測制御手段を有する本体ユニットとを備えることを特徴とする温度計測装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01K7/00 321C
, H01L21/30 516E
, H01L21/30 502H
5F046AA28
, 5F046CC01
, 5F046DA04
, 5F046DA26
, 5F046DB02
, 5F046DC01
, 5F046DC04
, 5F046DC08
, 5F046DC10
