特許
J-GLOBAL ID：200903085620243753
シール機構および環境容器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
須田 篤
, 楠 修二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-247010
公開番号（公開出願番号）：特開2009-079900
出願日： 2007年09月25日
公開日（公表日）： 2009年04月16日
要約：
【課題】チャンバーの気密性をより高くすることができるシール機構および環境容器を提供する。【解決手段】収納部材11が、内部にチャンバー21を有し、チャンバー21に連通する開口22を有する。シール機構16が、1対の第1シール部材36とガス循環手段38とを有する。各第1シール部材36は、弾性を有し、それぞれ収納部材11とチャンバー21の開口22を塞ぐ閉塞部材15との接続部をシールするよう、収納部材11と閉塞部材15との間に互いに間隙39を開けて設けられている。ガス循環手段38は、チャンバー21に所定のガスを循環させ、チャンバー21から排出されたガスを各第1シール部材36の間隙39に循環させるよう構成されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
内部にチャンバーを有し、前記チャンバーに連通する開口を有する収納部材と、前記開口を塞ぐ閉塞部材との接続部をシールするためのシール機構であって、
1対のシール部材とガス循環手段とを有し、
各シール部材は弾性を有し、それぞれ前記接続部をシールするよう前記収納部材と前記閉塞部材との間に互いに間隙を開けて設けられ、
前記ガス循環手段は前記チャンバーに所定のガスを循環させ、前記チャンバーから排出された前記ガスを各シール部材の前記間隙に循環させるよう構成されていることを、
特徴とするシール機構。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
2G050AA01
, 2G050BA04
, 2G050EC01
, 2G050EC03
, 2G050EC05
