特許
J-GLOBAL ID：200903085627840870
固体材料ダイシング方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 隆彌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-359044
公開番号（公開出願番号）：特開平11-191540
出願日： 1997年12月26日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：
【要約】【課題】 ダイシング工程の歩留まり向上によりコストダウン及び工数低減を達成することを課題とする。【解決手段】 固体材料の切断加工をダイシングによって行う際、固体材料表面には界面活性剤が付着させる。
請求項（抜粋）：
固体材料の切断加工をダイシングによって行う際、固体材料表面には界面活性剤が付着してなることを特徴とする固体材料ダイシング方法。
引用特許：
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