特許

J-GLOBAL ID：200903085630864136

分子吸引ポンプ

発明者： ジヤン-クロード・ブルワザン ,  オリビエ・ドビリエ ,  ドニ・ペリラ-アメド
出願人/特許権者： アルカテル・セイテ
代理人 (1件)： 川口 義雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-169611
公開番号（公開出願番号）：特開平9-014185
出願日： 1996年06月28日
公開日（公表日）： 1997年01月14日
要約：

【要約】【課題】 真空にするチャンバに付属するケーシングに挿入するのに適し、独立したケーシングと係合してそれを固定することが可能な分子吸引ポンプを提供することを目的とする。【解決手段】 ロータとステータを備え、少なくともロータとステータの交互のフィン付き段を含み、ロータが釣り鐘型で、ステータがステータフィンを支持する少なくとも一つの外側部分と釣り鐘型ロータ中に貫入する少なくとも一つの内側部分とを含み、前記内側部分がポンプをその放出端で閉じ、フランジを形成する外周リムを有するタイプの分子吸引ポンプであって、ステータピンを支持するステータの前記外側部分が径面で合体する二つの半ステータからなり、各半ステータが単一部分であって、ステータの前記内側部分の相補的円形溝にはまる支持面を吸入端とは反対側の端部を有することによって軸方向に配置され、ロータの第一フィン付き段の吸入端における外径が、動作クリアランスを無視すればステータの外側部分の外径に一致する、分子吸引ポンプ。

請求項（抜粋）：

ロータとステータを備え、少なくとも交互になったロータとステータのフィン付き段を含み、ロータが釣り鐘型であり、ステータはステータフィンを支持する少なくとも一つの外側部分と、釣り鐘型ロータ中に貫入する少なくとも一つの内側部分を含み、前記内側部分がポンプをその放出端で閉じ、フランジを形成する外周リムを含むタイプの分子吸引ポンプであって、ステータピンを支持するステータの前記外側部分が径面で合体する二つの半ステータからなり、各半ステータが単一部分で、ステータの前記内側部分の相補的円形溝にはまる支持面を吸入端とは反対側に持つことによって軸方向に配置され、ロータの第一フィン付き段の吸入端における外径が、動作クリアランスを無視すればステータの外側部分の外径に一致する分子吸引ポンプ。