特許

J-GLOBAL ID：200903085631890823

研磨装置およびこの研磨装置を用いた研磨方法

発明者： 田宮 勝恒 ,  本田 昭一
出願人/特許権者： 日立造船株式会社
代理人 (1件)： 森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-058602
公開番号（公開出願番号）：特開平9-253991
出願日： 1996年03月15日
公開日（公表日）： 1997年09月30日
要約：

【要約】【課題】 ガラス基板からの研磨工具のはみ出し量を一定にすることにより、ガラス基板を均一に研磨する。【解決手段】 第1の鉛直軸心6周りに回転自在な定盤7の上方に、第2の鉛直軸心15周りに回転自在でかつ定盤7にセットされた正方形のガラス基板5を研磨する研磨工具16を設け、研磨工具16は、ガラス基板5の角部5aを研磨範囲内とする第1研磨位置イと、第1研磨位置イよりも第1の鉛直軸心6に接近しかつガラス基板5の辺部5bを研磨範囲内とする第2研磨位置ロとの間で径方向へ往復移動自在とし、研磨工具16の移動経路32上を角部5aが通過する際に、研磨工具16を第1研磨位置イまで移動させて角部5aを研磨し、かつ、上記移動経路32上を辺部5bが通過する際に、研磨工具16を第2研磨位置ロまで移動させて辺部5bを研磨することを繰り返す。

請求項（抜粋）：

多角形の被研磨物を研磨する研磨装置であって、上記被研磨物を支持しかつ第1の鉛直軸心周りに回転自在な定盤の上方に、第2の鉛直軸心周りに回転自在でかつ上記定盤にセットされた被研磨物の上面に押圧されて被研磨物を研磨する研磨工具を設け、上記研磨工具は、被研磨物の角部を研磨範囲内とする第1研磨位置と、この第1研磨位置よりも第1の鉛直軸心に接近しかつ上記被研磨物の辺部から上記第1の鉛直軸心にかけてを研磨範囲内とする第2研磨位置との間で径方向へ往復移動自在とし、上記定盤の回転に応じて、上記研磨工具の移動経路上を角部が通過する際に、上記研磨工具を第1研磨位置まで移動させて被研磨物の角部を研磨させ、かつ、上記研磨工具の移動経路上を辺部が通過する際に、上記研磨工具を第2研磨位置まで移動させて被研磨物の辺部から上記第1の鉛直軸心にかけてを研磨させることを繰り返す駆動装置が設けられたことを特徴とする研磨装置。