特許

J-GLOBAL ID：200903085632719613

ガラス導波路の製造方法

発明者： 井本 克之
出願人/特許権者： 日立電線株式会社
代理人 (1件)： 絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-318068
公開番号（公開出願番号）：特開平5-150129
出願日： 1991年12月02日
公開日（公表日）： 1993年06月18日
要約：

【要約】【目的】 コアとクラッドの屈折率差の大きいガラス導波路を低損失、高寸法精度、小型で実現する。【構成】 低屈折率のガラス基板1表面にメタル膜3をマスクにしてエッチングによりコア部となる溝6を形成する第1の工程、上記メタル膜3及び溝6を埋め込むようにしてガラス基板1上に高屈折率のガラス膜4を低温で形成する第2の工程、その高屈折率のガラス膜4を上記メタル膜3が露出するまでエッチングする第3の工程、その露出したメタル膜3をエッチングにより除去する第4の工程及びメタル膜3除去後高屈折率のガラス膜4を低屈折率のクラッドガラス膜5で被覆する第5の工程からなることを特徴としている。

請求項（抜粋）：

低屈折率のガラス基板表面にメタル膜をマスクにしてエッチングによりコア部となる溝を形成する第1の工程、上記メタル膜及び溝を埋め込むようにしてガラス基板上に高屈折率のガラス膜を低温で形成する第2の工程、その高屈折率のガラス膜を上記メタル膜が露出するまでエッチングする第3の工程、その露出したメタル膜をエッチングにより除去する第4の工程及びメタル膜除去後高屈折率のガラス膜を低屈折率のクラッドガラス膜で被覆する第5の工程からなることを特徴とするガラス導波路の製造方法。