特許

J-GLOBAL ID：200903085635849836

157nmリソグラフィ用の反射屈折投影系

発明者： ハディマ,ラッセル
出願人/特許権者： カール・ツアイス・エスエムテイ・アーゲー
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-546891
公開番号（公開出願番号）：特表2004-514943
出願日： 2001年11月28日
公開日（公表日）： 2004年05月20日
要約：

フォトリソグラフィ用の縮小投影反射屈折対物レンズが、少なくとも4枚の偶数枚のミラーM1〜M6を含む第1光学要素群G1と、第1光学素子群G1よりも像側にあり、複数のレンズE4〜E13を含む第2の少なくとも実質上屈折型の光学要素群G2とを備える。第1光学素子群G1は、少なくとも実質上0.65、好ましくは少なくとも0.70または0.75の開口数で像を形成する第2光学要素群G2に対する軸上収差補正を補償する。6枚のミラーの例を示す。

請求項（抜粋）：

少なくとも4枚の偶数枚のミラー(M1〜M6)を含む第1光学要素群(G1)と、前記第1光学要素群よりも像側にあり、複数のレンズ(E4〜E13)を含む少なくとも実質上屈折型の第2光学要素群(G2)とを備え、ビーム経路を伴うフォトリソグラフィ用の縮小投影反射屈折対物レンズであって、前記第1光学要素群(G1)が前記第2光学要素群(G2)に対する軸上色補正を補償する、対物レンズ。

IPC (3件)：

G02B13/24 ,  G02B17/08 ,  H01L21/027

FI (3件)：

G02B13/24 ,  G02B17/08 A ,  H01L21/30 515D

Fターム (8件)：

2H087KA21 ,  2H087NA02 ,  2H087TA01 ,  2H087TA02 ,  5F046CA08 ,  5F046CB03 ,  5F046CB12 ,  5F046DA13

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-163319
  
• 特開昭63-163319