特許

J-GLOBAL ID：200903085639197370

機能性膜含有構造体及び圧電素子

発明者： 坂下 幸雄
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-089293
公開番号（公開出願番号）：特開2007-266303
出願日： 2006年03月28日
公開日（公表日）： 2007年10月11日
要約：

【課題】機能性膜と基板間の応力を緩和しつつ、機能性膜の特性低下を防止することができる機能性膜含有構造体及び圧電素子を提供する。【解決手段】本発明による機能性膜含有構造体10は、基板12と機能性膜14の間に層状物質からなる応力緩和層16を有する。層状物質は、単種または複数種のシートが積み重なった結晶構造を有している化合物又は単体であり、シート間の結合力は、シートが帯電している場合は弱い静電力、帯電していない場合はファンデルワールス力である。したがって、積層方向に垂直に応力が働いた場合、シート間のすべりにより応力が緩和される。応力緩和機能をもつ層状物質として、例えば、Bi系層状酸化物、Cu系層状酸化物、Co系層状酸化物、Mn系層状酸化物、六方晶窒化硼素、グラファイト、及び遷移金属カルコゲナイドなどを用いることができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板上に機能性膜を有する機能性膜含有構造体であって、 前記基板と前記機能性膜の間に層状物質を含有する層を有し、前記層状物質が応力緩和機能を有する物質であることを特徴とする機能性膜含有構造体。

IPC (5件)：

H01L 41/09 ,  H02N 2/00 ,  H01L 41/187 ,  B32B 27/18 ,  B32B 7/02

FI (6件)：

H01L41/08 C ,  H02N2/00 B ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101J ,  B32B27/18 Z ,  B32B7/02 104

Fターム (20件)：

4F100AA14B ,  4F100AA17B ,  4F100AA37B ,  4F100AB11 ,  4F100AB14B ,  4F100AB15B ,  4F100AB17B ,  4F100AB24 ,  4F100AK01C ,  4F100AT00A ,  4F100BA03 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10C ,  4F100EH66 ,  4F100GB41 ,  4F100JG05C ,  4F100JG10C ,  4F100JK01B ,  4F100JK06 ,  4F100JK20B

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 圧電アクチュエータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-008232   出願人：株式会社リコー