位置合わせ方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田辺恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-218131
公開番号（公開出願番号）：特開平7-056183
出願日： 1993年08月09日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：

【要約】【目的】本発明は、つなぎ露光される複数の領域間のパターンのずれを一段と小さくすることができる位置合わせ方法の実現を目的とする。【構成】2つの露光領域22A及び22Bのつなぎ部分24Aに形成された画素パターン25Aの中からテンプレート画像27に一致するパターン28A及び28Bをパターンマツチングによつて検出する。そしてテンプレート画像27に一致したパターン28A及び28Bの位置の差に基づいて2つの露光領域のつなぎ誤差を測定する。このつなぎ誤差が平均的に最小となるように位置合わせ時の補正パラメータの値を決定する。これにより2つの露光領域に形成されるパターンのつなぎ合わせ精度を従来に比して一段と高めることができる。

請求項（抜粋）：

露光原板上に形成された小面積の原画パターンを感光基板上の異なる露光領域につなぎ合わせて露光することにより全体として大面積のパターンを形成した前記感光基板の位置合わせ方法において、前記露光領域のうち隣接する第1及び第2の露光領域を該第1及び第2の露光領域のつなぎ部分を含んで同時に、複数箇所撮像し、該撮像により得られた複数の第1の画像のそれぞれの前記第1及び第2の露光領域に相当する領域それぞれから予め基準画像として記憶されているテンプレート画像に対応する画像を検出し、前記第1の露光領域に相当する領域における前記対応する画像の位置と、前記第2の露光領域に相当する領域における前記対応する画像どうしの位置との差を前記第1及び第2の露光領域のつなぎ部分に生じたつなぎ誤差として前記複数の第1の画像のそれぞれについて複数求め、当該複数のつなぎ誤差が平均的に最小となるように位置合わせ時の補正量を決定することを特徴とする位置合わせ方法。

IPC (3件)：

G02F 1/1343 , G02F 1/13 101 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平3-153015
露光方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-168214 出願人：株式会社ニコン
特開昭59-054225

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