特許

J-GLOBAL ID：200903085649966541

回路パネル層の処理システム

発明者： トーマス パトリック ダフィー ,  ルイス チャールズ ヘクト ,  メリット プレストン サルジャー ,  アーンスト エミル スィーレ ,  マーク ヴィンセント ピアソン ,  ローレンス エドワード ウイリアムズ
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 頓宮 孝一 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-114853
公開番号（公開出願番号）：特開平6-061332
出願日： 1993年05月17日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：

【要約】【目的】 パネル処理及び製造においてクリーンルーム環境を提供する。【構成】 大型で処理中の回路パネル層(100) を処理するためのシステムは、パネル層を囲むための周辺フレーム取付け具(171) と、周辺フレーム取付け具にパネル層を取り付けるためのローディングチャック(121) とを備える。周辺フレーム取付け具は、底部プレート(175) 、頂部フレーム(179) 、並びに、底部プレート、頂部フレーム及びその間のパネル層に対してz軸方向の圧縮力を加えるための圧縮手段とを備える。ローディングチャックは、周辺フレーム取付け具の底部プレートを収容する周辺エッジ(125) と、周辺エッジと周辺フレーム取付け具の周辺フレームによって境界付けられる領域内にあり、パネル層を収容するため実質的に同平面の真空テーブルと、を備える。

請求項（抜粋）：

大面積の処理中回路パネル層を処理するためのシステムであって、a.パネル層を囲むための周辺フレーム取付け具であって、i. 中央開口部を有する底部プレートと、ii. 中央開口部を有する頂部フレームと、iii.底部プレート、頂部フレーム及び底部プレートと頂部フレーム間のパネル層に対してz軸方向の圧縮力を加えるための圧縮手段と、を含み、前記底部プレート及び前記頂部フレームが、パネル層の表面にz軸方向の圧縮力を加え、次のパネル処理の間にパネルに対してx-y軸方向の張力を加える、周辺フレーム取付け具と、b.周辺フレーム取付け具にパネル層を取り付けるためのローディングチャックであって、i. 周辺フレーム取付け具の底部プレートを収容するための周辺エッジと、ii.ローディングチャックの周辺エッジと周辺フレーム取付け具の周辺フレームによって境界付けられる領域内にあり、パネル層を収容するため実質的に同平面の真空テーブルであって、a.真空を汲み出し、パネルを支持面に対して保持するための真空孔を有する複数のスライド可能な支持面と、b.スライド可能な支持面を移動し、x-y軸方向の張力を支持面のパネルに対して加えるためのスライドアクチュエータと、c.真空をスライド可能な支持面に対して加えるための手段と、を含む真空テーブル、を備えるローディングチャックと、から成る回路パネル層の処理システム。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23P 21/00 307 ,  B25H 3/02