特許
J-GLOBAL ID：200903085656989131
露光装置及び露光方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 義雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-106847
公開番号（公開出願番号）：特開平10-284410
出願日： 1997年04月10日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：
【要約】【課題】 信頼性ある連続的な出力光制御が可能な露光装置及び露光方法を提供する。【解決手段】 この露光装置は、光源からの光により光学系71,72,73,74,75を介して所定パターン75を基板77上に転写する露光装置において、200nm以下の中心波長を有する光を出力する光源10と、光源10から出力した光が通過する密閉された酸素含有密閉容器12と、容器12内の酸素濃度をを調整する装置33と、光源10から出力した光の光量を検出する受光素子31と、この光量の検出結果に基づき酸素濃度調整装置33を制御する装置32とを具備する。
請求項（抜粋）：
光源からの光により光学系を介して所定パターンを基板上に転写する露光装置において、200nm以下の中心波長を有する光を出力する光源と、前記光源から出力した光が通過する密閉された酸素含有光路と、前記密閉された酸素含有光路内の酸素分子数を調整する手段と、前記光源から出力した光の光量を検出する手段と、この光量の検出結果に基づき前記酸素分子数調整手段を制御する手段と、を具備する露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 515 B
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 502 G
, H01L 21/30 516 C
