特許

J-GLOBAL ID：200903085663407768

樹脂層の形成方法

発明者： 村上 善照 ,  三枝 理伸 ,  長浦 歳一 ,  太田 賢司
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-062746
公開番号（公開出願番号）：特開平5-266472
出願日： 1992年03月19日
公開日（公表日）： 1993年10月15日
要約：

【要約】【構成】 スピンコート法による樹脂層の製造方法において、樹脂滴下後のスピンナーの高速回転中に、樹脂層外周部近傍に気体を吹き付けながら、樹脂層形成を行うことを特徴とする樹脂層の形成方法。【効果】 本発明の方法によりディスク端部での樹脂層の盛り上がり及び端面への樹脂の回り込みを抑えることができ、樹脂層の剥離を抑えることができ、信頼性に優れた高品質、かつ、きれいな光磁気ディスクを提供することができる。

請求項（抜粋）：

スピンコート法による樹脂層の製造方法において、樹脂滴下後のスピンナー回転中に、樹脂層外周部近傍に気体を吹き付けながら、樹脂層形成を行うことを特徴とする樹脂層の形成方法。

IPC (5件)：

G11B 5/842 ,  B05D 1/40 ,  G11B 7/26 ,  G11B 11/10 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭64-047474
  
• 特開昭62-160171