特許
J-GLOBAL ID：200903085663835565
圧電振動板の温度特性測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-314015
公開番号（公開出願番号）：特開2004-150857
出願日： 2002年10月29日
公開日（公表日）： 2004年05月27日
要約：
【課題】圧電振動板単体での周辺の環境温度を特定の測定温度範囲内で変化させ、温度特性の測定する。【解決手段】圧電振動板を収容し、その特性を測定する測定空間2と、当該測定空間を真空雰囲気にする真空引き手段3とがあり、上記測定空間の内部には、前記圧電振動板を搭載する基台41と、カバー部材42と、環境温度に応じて特性が変化する基準電子部品44とが備えられており、前記基台には、圧電振動板の周波数を測定するための測定電極が形成されるとともに、上記測定空間内の温度を任意に調整可能な温度調整手段を有しており、上記基準電子部品の特性を測定し、その測定結果である特性に対応する環境温度を測定対象圧電振動板の環境温度と認識して、この認識した環境温度に関連付けて測定対象圧電振動板の特性測定動作を実行する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
環境温度の変化に伴う圧電振動板の特性変化を測定するために使用される温度特性測定装置であって、
圧電振動板を収容し、その特性変化を測定するための測定空間と、当該測定空間の内部を真空雰囲気にする真空引き手段とがあり、
上記測定空間の内部には、前記圧電振動板を搭載する基台と、当該基台の上面に配置され、前記圧電振動板を位置決めするカバー部材と、測定対象圧電振板と同様の基台に置かれていると共に環境温度に応じて特性が変化する基準電子部品とが備えられており、
前記基台には、圧電振動板の周波数を測定するための測定電極が形成されるとともに、上記測定空間内の温度を任意に調整可能な温度調整手段を有しており、
上記基準電子部品の特性を測定し、その測定結果である特性に対応する環境温度を測定対象圧電振動板の環境温度と認識して、この認識した環境温度に関連付けて測定対象圧電振動板の特性測定動作を実行するよう構成されていることを特徴とする圧電振動板の温度特性測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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