特許

J-GLOBAL ID：200903085665671489

散乱測定方法及び測定装置

発明者： 谷 裕久 ,  鈴木 葉子
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-092994
公開番号（公開出願番号）：特開2001-281093
出願日： 2000年03月28日
公開日（公表日）： 2001年10月10日
要約：

【要約】【課題】 紫外領域での正確な散乱測定、更には散乱光の角度分布をも測定可能とした散乱光測定方法及び測定装置を提供することを目的とする。【解決手段】 光学素子から発生する散乱光の光量を測定する方法において、前記散乱光を測定する検出工程は、前記散乱光の波長を別の波長に変換する波長変換工程と、前記変換された波長を受光する受光工程とを備える方法とした。光学素子から発生する散乱光の光量を測定する装置において、前記散乱光を測定する検出部は、前記散乱光の波長を別の波長に変換する波長変換部材と、前記変換された波長を受光する受光部材とを備える構成とした。

請求項（抜粋）：

光学素子から発生する散乱光の光量を測定する方法において、前記散乱光を測定する検出工程は、前記散乱光の波長を別の波長に変換する波長変換工程と、前記変換された波長を受光する受光工程とからなることを特徴とする散乱測定方法。

IPC (3件)：

G01M 11/00 ,  G01N 21/33 ,  G01N 21/49

FI (3件)：

G01M 11/00 L ,  G01N 21/33 ,  G01N 21/49 Z

Fターム (11件)：

2G059AA02 ,  2G059BB08 ,  2G059DD15 ,  2G059EE02 ,  2G059GG01 ,  2G059HH03 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ25 ,  2G059KK04 ,  2G059NN01 ,  2G086FF06