特許

J-GLOBAL ID：200903085675155691

レーザイオン化中性粒子質量分析装置およびそれを用いる分析法

発明者： 東 康弘 ,  丸尾 哲也 ,  田中 融 ,  本間 芳和
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 中村 純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-044380
公開番号（公開出願番号）：特開平5-251037
出願日： 1992年03月02日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：

【要約】【目的】二次イオン発生量が多い元素も、高感度で定量的分析が可能な、レーザイオン化中性粒子質量分析器を得る。【構成】固定試料から得る二次イオン28と、中性粒子をイオン化した光励起イオン33とに、それぞれ別の運動エネルギを与える手段を設ける。

請求項（抜粋）：

真空中で被分析物の固体試料表面にイオンビームを照射し、上記固体試料表面から二次イオンおよび中性粒子をスパッタリングする手段と、上記中性粒子をイオン化して光励起イオンを発生する紫外パルスレーザと、上記二次イオンまたは上記光励起イオンを収集する電場を発生する手段と、上記二次イオンまたは上記光励起イオンを質量分離する質量分析器と、該質量分析器により質量分離されたイオンを電気パルス信号に変換するイオン検出器と、該イオン検出器からの電気パルス信号を検出するパルス計数器とからなるレーザイオン化中性粒子質量分析装置において、上記二次イオンと上記光励起イオンとに、それぞれ別の運動エネルギを与える手段を有することを特徴とするレーザイオイン化中性粒子質量分析装置。