特許
J-GLOBAL ID:200903085675428760

高真空圧バルブにおけるシールリングの取付け機構

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 林 宏 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-277047
公開番号(公開出願番号):特開平8-114271
出願日: 1994年10月17日
公開日(公表日): 1996年05月07日
要約:
【要約】【目的】 取付溝へのシールリングの挿脱が容易で、しかも捩じれることなく強固に取付けられる、高真空圧バルブのシールリングの取付け機構を提供する。【構成】 弁体23の弁座14との対向面に設けた取付溝30を、該取付溝に挿入されたシールリング31が取付溝内において僅かに移動可能な大きさとし、内側を円筒面30a外側を開口側が縮径するテーパ面30bとする。また、円筒面の開口近くにテーパ面に向けて開口するリング溝32を設けて、この溝に、シールリングを固定するための欠円状の固定リング33を取付ける。取付溝への徐々の押し込みによってシールリング31に捩じれが生じても、取付溝内において捩じれを戻すことができ、シールリングは、固定リング33による押圧部及び取付溝のテーパ面30bと底面30cとの圧接部の3点において取付溝に固定される。
請求項(抜粋):
複数のポートと、これらのポートを連通させる流路中の弁座と、該弁座を開閉する弁体とを備え、該弁体の弁座との対向面に設けた環状の取付溝に上記弁座をシールするシールリングを取付けた高真空圧バルブにおいて、上記取付溝を、該取付溝内において上記シールリングが僅かに移動可能な大きさとするとともに、開口近くの側壁の少なくとも一方に、対向する側壁に向いて開口するリング溝を設け、上記取付溝に挿入されたシールリングを、上記リング溝に装着した固定リングによって取付溝の壁面に圧接させた、ことを特徴とする高真空圧バルブにおけるシールリングの取付け機構。
IPC (3件):
F16K 1/46 ,  F16J 15/18 ,  F16K 51/02

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