特許
J-GLOBAL ID:200903085676629794
イオンビーム遮断装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
堀田 実
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-322056
公開番号(公開出願番号):特開2002-131485
出願日: 2000年10月23日
公開日(公表日): 2002年05月09日
要約:
【要約】【課題】 高エネルギーイオンビームを損傷を受けることなく長時間遮断することができ、遮断部の局部過熱が少なく、かつ残留放射能の少ないイオンビーム遮断装置を提供する。【解決手段】 真空チャンバー11内を通過するイオンビームを遮断するためのビーム遮断ターゲット12と、イオンビームの通過経路内にターゲットを出没させるように真空チャンバーの外側からターゲットを往復動させるターゲット往復動装置14と、ターゲットを真空チャンバーの外側からイオンビームと交叉する軸心を中心に回転させるターゲット回転装置16とを備える。イオンビームの遮断時に、イオンビーム遮断位置が許容温度になるようにターゲットを連続回転させる。
請求項(抜粋):
真空チャンバー(11)内を通過するイオンビームを遮断するためのビーム遮断ターゲット(12)と、イオンビームの通過経路内にターゲットを出没させるように真空チャンバーの外側からターゲットを往復動させるターゲット往復動装置(14)と、ターゲットを真空チャンバーの外側からイオンビームと交叉する軸心を中心に回転させるターゲット回転装置(16)とを備え、イオンビームの遮断時に、イオンビーム遮断位置が許容温度になるようにターゲットを連続回転させる、ことを特徴とするイオンビーム遮断装置。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (7件):
2G085BA16
, 2G085BD02
, 2G085BD04
, 2G085BE02
, 2G085BE03
, 2G085BE06
, 2G085EA01
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