特許
J-GLOBAL ID：200903085680514063
鉛含有ペロブスカイト構造複合酸化物強誘電体薄膜、 その製法及び材料
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 章一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-148450
公開番号（公開出願番号）：特開平5-319927
出願日： 1992年05月15日
公開日（公表日）： 1993年12月03日
要約：
【要約】【目的】 優秀な誘電特性を有する鉛含有強誘電体薄膜の提供。【構成】 アルカリ金属不純濃度を1ppm以下としたPZT,PLZT高純度強誘電体薄膜によって達成される。
請求項（抜粋）：
一般式Pb1-xLax(ZryTi1-y)1-x/4O3(式中x、yは0または1より小さい小数)で表わされる鉛含有ペロブスカイト構造複合酸化物からなり、該酸化物に含まれるLi、Na、Kの合計含有量が1ppm以下であることを特徴とする強誘電体薄膜。
IPC (3件)：
C04B 35/49
, B01J 19/00
, H01B 3/12 301
