特許

J-GLOBAL ID：200903085683016803

マイクロレンズ金属駒型の製造方法

発明者： 大垣 傑
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 舘野 千惠子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-155443
公開番号（公開出願番号）：特開2003-340830
出願日： 2002年05月29日
公開日（公表日）： 2003年12月02日
要約：

【要約】【課題】 特性がレンズ面内・レンズ面間で均一で、しかもレンズ面が高い平滑性を有するマイクロレンズ金属駒型を、電析により効率良く製造する。【解決手段】 マイクロレンズ金属駒型10の製造では、非導電性基板11上に導電層12を形成し、この導電層上にパターン化した絶縁層13を形成するとともに、導電層を部分的に露出させる。この露出導電層14を陰極とする第1の電析工程により、この導電層上に第1の金属膜15として半光沢銅メッキ膜を形成する。この金属膜は露出導電層14を中心とする半球状に成長する。金属膜15を陰極とする第2の電析工程により、この金属膜上に第2の金属膜16として光沢ニッケル膜を形成する。以上により金属膜15が芯、金属膜16が鞘となっているスキン・コア構造の半球状金属膜が形成される。金属膜15は内部応力の小さい膜とすることができ、金属膜16は鏡面状態で形成される。上記第2の電析工程は、パルス電析とすることが好ましい。

請求項（抜粋）：

表面が導電層となっている基板の前記導電層上にパターン化した絶縁層を形成するとともに前記導電層を部分的に露出させ、該導電層を電極とする電析により該導電性層表面に金属膜を形成する、マイクロレンズ形状の金型製造方法において、導電層表面に2種または、3種以上の金属膜を電析により積層形成することを特徴とするマイクロレンズ金属駒型の製造方法。

IPC (6件)：

B29C 33/38 ,  C25D 1/00 321 ,  C25D 1/00 361 ,  G02B 3/00 ,  G02F 1/1335 ,  B29L 11:00

FI (7件)：

B29C 33/38 ,  C25D 1/00 321 ,  C25D 1/00 361 ,  G02B 3/00 A ,  G02B 3/00 Z ,  G02F 1/1335 ,  B29L 11:00

Fターム (19件)：

2H091FA29X ,  2H091FA29Z ,  2H091FB03 ,  2H091FC19 ,  2H091FC22 ,  2H091LA12 ,  4F202AH74 ,  4F202AH75 ,  4F202AJ02 ,  4F202AJ09 ,  4F202AJ11 ,  4F202CA01 ,  4F202CA11 ,  4F202CB01 ,  4F202CD07 ,  4F202CD12 ,  4F202CD14 ,  4F202CD22 ,  4F202CK43