特許

J-GLOBAL ID：200903085697968165

透明な試料層の厚さを干渉測定する装置

発明者： ゲルハルト ホーベルク
出願人/特許権者： カール-ツアイス-スチフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-066805
公開番号（公開出願番号）：特開平5-087536
出願日： 1992年03月25日
公開日（公表日）： 1993年04月06日
要約：

【要約】【目的】 大きい層厚の場合でも短い測定時間で正確な測定が可能な、透明な試料層(11)の厚さを干渉測定可能な装置を提供する。【構成】 試料層(11)の前または後に、試料層(11)とほぼ等しい光学的厚さを有する実在または仮想の平行平面の参照層(16)を配置し、分光計で波長に依存する強度の経過を測定する。

請求項（抜粋）：

白色光用光源(14)、干渉層(16)および受光装置(15)からなり、干渉層は試料層(11)とほぼ等しい光学的厚さを有しかつ該層を試料層(11)の前または後で光源(14)のビームが透過する、透明な試料層(11)の厚さを干渉測定する装置において、干渉層が平行平面の実在層(16d)または仮想層(46d,56d)であり、受光装置が波長に依存する強度の経過を測定するための分光計(15)であることを特徴とする透明な試料層の厚さを干渉測定する装置。