特許
J-GLOBAL ID：200903085698522209
懸濁液の凝集沈降促進方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 績
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-347994
公開番号（公開出願番号）：特開平7-185557
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月25日
要約：
【要約】【目的】 半導体産業においてエッチング、洗浄によって発生する主としてシリコン微粒子を含む褐色状の廃液について、溶媒たる水を回収再生し、クローズドシステム化して、環境汚染を防止するための固液分離を促進する方法及び装置を提供することを目的とする。【構成】 幅約500mm、奥行約300mm、深さ約250mmの電解槽に数列の並行する陰極及び陽極の電極板を対向して設け、1日約10サイクルの割合で直流電荷を印加して、保護コロイド電荷を中和し、シリコン粒子を酸化し、造粒化を促し、部分的に凝集分離を行ない、最終的に固液分離を付加することによって、スラッジと溶媒とを分別し、かつ溶媒を回収再生せしめうる構成とする。
請求項（抜粋）：
微粒子からなるシリコンを含む懸濁液について、槽内に陽極及び陰極からなる対向した電極を数列並行して配列し、直流電圧12乃至650ボルトを印加し、シリコンコロイド保護膜の電荷を部分的に中和することにより懸濁液中の粒子径を増大させて重力沈降しやすくすることを特徴とする懸濁液の凝集沈降促進方法。
IPC (5件)：
C02F 1/463
, C02F 1/465
, C02F 1/46 ZAB
, C02F 1/52 ZAB
, C02F 1/60 ZAB
