特許
J-GLOBAL ID：200903085698682869
濃縮分析装置及び方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木戸 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-155219
公開番号（公開出願番号）：特開2004-354332
出願日： 2003年05月30日
公開日（公表日）： 2004年12月16日
要約：
【課題】モノシラン中の不純物であるアルシンを分析する場合のように、主成分と不純物成分とをカラムで分離することが困難な成分の分析を高感度にかつ安定して行うことができる濃縮分析装置及び方法を提供する。【解決手段】冷却した第1濃縮管21に試料ガスを流通させて不純物成分を一次濃縮する工程と、該工程で濃縮した一次濃縮ガスを第2濃縮管22に流通させて不純物成分を二次濃縮する工程と、該工程で濃縮した二次濃縮ガスをプレカラム23に流通させて二次濃縮ガス中の不純物成分を予備分離する工程と、該工程で予備分離した予備分離ガスをメインカラム24に流通させて不純物成分を単成分に分離する工程と、該工程で単成分に分離した不純物成分を分析器17に導入して分析する分析工程とを行う。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
試料ガス中の不純物成分を濃縮して分析する装置であって、前記試料ガス中の不純物成分を一次濃縮するための第1充填剤を充填した第1濃縮管と、該第1濃縮管で一次濃縮された一次濃縮ガス中の不純物成分を更に二次濃縮するための第2充填剤を充填した第2濃縮管と、該第2濃縮管で二次濃縮された二次濃縮ガス中の分析対象となる不純物成分を他の成分と予備分離するためのプレカラムと、該プレカラムで予備分離された予備分離ガス中の前記分析対象となる不純物成分を単成分に分離するためのメインカラムと、該メインカラムで単成分に分離した前記分析対象となる不純物成分を分析する分析器と、前記第1濃縮管を常温以下に冷却する冷却手段及び該第1濃縮管を常温以上に加熱する加熱手段と、前記第2濃縮管を常温に保持する保温手段と、前記第1濃縮管に前記試料ガス又はキャリヤーガス又はパージガスを切換導入するための流路切換手段と、前記第2濃縮管に前記一次濃縮ガス又はキャリヤーガス又はパージガスを切換導入するための流路切換手段と、前記プレカラムに前記二次濃縮ガス又はキャリヤーガスを切換導入するための流路切換手段と、前記メインカラムに前記予備分離ガス又はキャリヤーガスを切換導入するための流路切換手段とを備えていることを特徴とする濃縮分析装置。
IPC (4件)：
G01N30/08
, G01N30/14
, G01N30/26
, G01N30/46
G01N30/08 G
, G01N30/14 A
, G01N30/26 M
, G01N30/46 A
