特許

J-GLOBAL ID：200903085702086338

位置検出方法及び位置検出装置並びに露光装置

発明者： 上田 壮一 ,  三好 貴文
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-079124
公開番号（公開出願番号）：特開2001-264015
出願日： 2000年03月21日
公開日（公表日）： 2001年09月26日
要約：

【要約】【課題】 異なる形状を有する基板に対して、ゴミなどの発生を防止しつつ安定した位置検出を行うことができる位置検出方法及び位置検出装置、この位置検出装置を備えた露光装置を提供することを目的とする。【解決手段】 位置検出装置1は、基板Wの端部位置を検出する検出系2と、この検出系2の検出結果に基づいて基板Wの形状を判別するとともにこの判別結果に応じた算出手順により基板Wの中心位置を算出する算出部3とを備えている。したがって、異なる形状を有する基板Wが混在している場合であっても、それぞれの基板Wの中心位置を安定して求めることができる。また、検出系2は投光部21及び受光部22からなる光学センサ20を備え、非接触で基板Wの形状の判別及び中心位置の検出を行うことができるので、ゴミなどの発生が防止される。

請求項（抜粋）：

処理対象である基板の端部位置を検出し、この検出結果に基づいて前記基板の形状を判別し、この判別結果に応じた算出手順により前記基板の中心位置情報を検出することを特徴とする位置検出方法。

IPC (6件)：

G01B 11/00 ,  G01B 11/24 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (6件)：

G01B 11/00 D ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 A ,  H01L 21/68 F ,  G01B 11/24 A ,  H01L 21/30 525 W

Fターム (60件)：

2F065AA17 ,  2F065AA51 ,  2F065BB01 ,  2F065BB03 ,  2F065CC19 ,  2F065CC21 ,  2F065FF02 ,  2F065GG12 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065MM04 ,  2H097BA10 ,  2H097GB00 ,  2H097KA03 ,  2H097KA28 ,  2H097LA10 ,  2H097LA12 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA02 ,  5F031GA08 ,  5F031GA36 ,  5F031GA45 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031HA12 ,  5F031HA13 ,  5F031HA53 ,  5F031HA58 ,  5F031HA59 ,  5F031JA01 ,  5F031JA04 ,  5F031JA05 ,  5F031JA06 ,  5F031JA14 ,  5F031JA17 ,  5F031JA21 ,  5F031JA28 ,  5F031JA29 ,  5F031JA30 ,  5F031JA32 ,  5F031JA36 ,  5F031JA51 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA11 ,  5F031KA12 ,  5F031LA03 ,  5F031LA04 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F046FC04 ,  5F046FC06