特許
J-GLOBAL ID:200903085703767606

表面電位センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 三澤 正義
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-030515
公開番号(公開出願番号):特開平6-242166
出願日: 1993年02月19日
公開日(公表日): 1994年09月02日
要約:
【要約】【目的】 本発明は、回路の簡略化,小型化が可能で、かつ、取り付け距離の依存性を無せる表面電位センサを提供する。【構成】 本発明は、圧電音叉30,検知電極4を用いたセンサ部5と、音叉駆動回路15と、センサ部5の検知電極4に接続されたプリアンプ回路12と、増幅回路と、同期検波回路17と、積分回路18と、トランスを用いた高圧増幅回路19とを有し、圧電音叉30,検知電極4,プリアンプ回路12,増幅回路,同期検波回路17,積分回路18,高圧増幅回路19の一次側及びトランスを用いた電源回路21の2次側及びそのシールドを電源からフローティングさせ、かつ、高圧増幅回路19の発生電圧を少なくともセンサ部5のコモングランドに帰還させた。この構成により、センサ部の取り付け距離の依存性が無くなりその取り付け精度を緩和できるとともに、回路の簡略化,小型化をも図れる。
請求項(抜粋):
圧電音叉及び検知電極を有するセンサ部を備えた表面電位センサにおいて、前記圧電音叉を駆動する音叉駆動回路と、前記検知電極で受けた交流信号をインピーダンス変換するインピーダンス変換回路と、インピーダンス変換回路の出力を増幅する増幅回路と、前記音叉駆動回路からの信号で前記検知電極からの信号を同期検波する同期検波回路と、この同期検波回路の出力を平滑する積分回路と、積分回路の出力を昇圧するトランスを用いた高圧増幅回路とを有し、前記圧電音叉,検知電極,インピーダンス変換回路,増幅回路,同期検波回路,積分回路,高圧増幅回路の一次側及び電源供給用のトランスを用いた電源回路の2次側及びそのシールドを電源からフローティングさせるとともに、前記高圧増幅回路の発生電圧を少なくとも前記センサ部のコモングランドに帰還させたことを特徴とする表面電位センサ。
IPC (3件):
G01R 29/12 ,  G03G 15/00 303 ,  G03G 15/02
引用特許:
審査官引用 (6件)
  • 特開平4-305171
  • 特開昭63-106574
  • 特開昭61-047971
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