ポリエステルフイルム

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：前田純博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-124577
公開番号（公開出願番号）：特開平9-302114
出願日： 1996年05月20日
公開日（公表日）： 1997年11月25日
要約：

【要約】【課題】凹凸形状を有する基盤に対し優れた基盤追従性を示し、解像度に優れたフォトレジストフイルムの支持体層に用いるポリエステルフイルムを提供する。【解決手段】平均粒径が2.5μm以下の滑剤を含有し、ポリマー融点が210〜250°Cの共重合ポリエステルからなるフイルムであって、該フイルムの面配向係数が0.09〜0.16であることを特徴とするフォトレジストフイルムの支持体層に用いるポリエステルフイルム。

請求項（抜粋）：

平均粒径が2.5μm以下の滑剤を含有し、ポリマー融点が210〜250°Cの共重合ポリエステルからなるフイルムであって、該フイルムの面配向係数が0.09〜0.16であることを特徴とするフォトレジストフイルムの支持体層に用いるポリエステルフイルム。

IPC (8件)：

C08J 5/18 CFD , B29C 55/02 , C08L 67/02 KKN , G03F 7/09 501 , G03F 7/11 , H05K 3/00 , B29K 67:00 , B29L 7:00

FI (6件)：

C08J 5/18 CFD , B29C 55/02 , C08L 67/02 KKN , G03F 7/09 501 , G03F 7/11 , H05K 3/00 F

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平1-096640
特開昭64-040400
特開平1-096641

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