特許

J-GLOBAL ID：200903085708498395

CMP排液の処理方法および装置

発明者： 太田 治
出願人/特許権者： 栗田工業株式会社
代理人 (1件)： 柳原 成
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-300201
公開番号（公開出願番号）：特開2000-126768
出願日： 1998年10月21日
公開日（公表日）： 2000年05月09日
要約：

【要約】【課題】 少ない薬剤量によりCMP排液に含まれる粒子を凝集させることができ、その凝集処理液をUF膜で膜分離することによりUF膜の目詰まりなしに膜分離を行うことができ、これにより水および/または研磨剤を効率よく回収することが可能なCMP排液の処理方法および装置を得る。【解決手段】 CMP排液6を凝集処理槽1に導入し、界面活性剤7を注入するとともにpH調整剤8を注入してpH6.8以下に調整して砥粒を凝集させ、凝集処理液をUF膜分離装置2に供給して膜分離を行い、濃縮液15を研磨剤として回収し、透過液12をRO膜分離装置3で膜分離し、透過液14を処理水として回収する。

請求項（抜粋）：

CMP排液を界面活性剤の存在下、pH6.8以下において凝集処理し、UF膜で膜分離することを特徴とするCMP排液の処理方法。

IPC (5件)：

C02F 1/44 ZAB ,  B01D 21/01 104 ,  B01D 21/01 106 ,  B01D 21/01 107 ,  C02F 1/54

FI (5件)：

C02F 1/44 ZAB E ,  B01D 21/01 104 ,  B01D 21/01 106 ,  B01D 21/01 107 Z ,  C02F 1/54 K

Fターム (69件)：

4D006GA03 ,  4D006GA06 ,  4D006HA01 ,  4D006HA21 ,  4D006HA41 ,  4D006HA61 ,  4D006HA77 ,  4D006KA03 ,  4D006KA52 ,  4D006KA55 ,  4D006KA57 ,  4D006KA62 ,  4D006KB13 ,  4D006KB30 ,  4D006KD04 ,  4D006KD11 ,  4D006KD12 ,  4D006KD17 ,  4D006KE02P ,  4D006KE03P ,  4D006KE07P ,  4D006KE09P ,  4D006KE11R ,  4D006KE12P ,  4D006KE15R ,  4D006KE19P ,  4D006MA01 ,  4D006MA02 ,  4D006MA03 ,  4D006MA22 ,  4D006MB11 ,  4D006MC03X ,  4D006MC11 ,  4D006MC14 ,  4D006MC18 ,  4D006MC22 ,  4D006MC27 ,  4D006MC33 ,  4D006MC39 ,  4D006MC54 ,  4D006MC62 ,  4D006MC63 ,  4D006PA01 ,  4D006PB08 ,  4D006PB20 ,  4D006PB23 ,  4D006PC02 ,  4D015BA05 ,  4D015BB05 ,  4D015CA17 ,  4D015CA20 ,  4D015DB42 ,  4D015DB45 ,  4D015DC06 ,  4D015EA14 ,  4D015EA17 ,  4D015EA37 ,  4D015FA17 ,  4D062BA05 ,  4D062BB05 ,  4D062CA17 ,  4D062CA20 ,  4D062DB42 ,  4D062DB45 ,  4D062DC06 ,  4D062EA14 ,  4D062EA17 ,  4D062EA37 ,  4D062FA17