特許

J-GLOBAL ID：200903085716145485

回折格子

発明者： 坪田 孝志 ,  的場 昭大
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-291037
公開番号（公開出願番号）：特開平5-129726
出願日： 1991年11月07日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：

【要約】【目的】 半導体素子に組み込まれる回折格子の、回折効率を改善するための設計変更を容易に行えるようにした回折格子の、構造を提供するものである。【構成】 半導体素子中の光の進行方向に対して直交する方向に突起部、または溝を互いに離間して設けて、凹凸配列を形成する。回折効率を変化する場合は、突起部、または溝のピッチを変える。同一配列内の、各突起部、または溝の大きさを変えること、及び、または隣接する突起部間の間隔、または隣接する溝間の間隔を変えることによってのみ回折効率を変えられる。各突起部、あるいは各溝の形状は、全く同一とするのがよい。

請求項（抜粋）：

半導体素子に組み込まれる回折格子において、この回折格子は、この半導体素子を構成するある層に光の伝播方向に対し、ほぼ直交する方向に、凹凸配列を形成してなることを特徴とする半導体素子に組み込まれる回折格子。

IPC (2件)：

H01S 3/18 ,  H01L 27/15

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-143581
  
• 特開昭63-178575
  
• 特開昭63-017588
  
• 特開平2-281681