特許
J-GLOBAL ID：200903085716363229
板状体の搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松村 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-158586
公開番号（公開出願番号）：特開平5-330647
出願日： 1992年05月25日
公開日（公表日）： 1993年12月14日
要約：
【要約】[目的] クリーンエアーダウンフローの環境下で、光ディスクの原盤製造ラインの自動搬送において、信号面であるガラス原盤の上面方向近辺にメカニカルな構造物を全く持たず、構造物からの発埃よる信号面汚染を完全に回避した搬送装置を提供することを目的とする。[構成] ユニット12の円筒状チャンバ16内に作業台17を配し、この作業台17に対して昇降可能な受け台28をその周囲に設けるとともに、旋回および直線動可能なハンドリングアーム20を各ユニット内に設け、しかも各ユニット間の受渡しのために入口35の内側に仮おき台37を配し、ハンドリングアーム20の回動運動と可動子22の直線運動と、受け台28の昇降運動と仮おき台37の昇降運動との組合わせによって、ガラス原盤25の搬送を行なうようにしたものである。
請求項（抜粋）：
所定の作業を行なうためのチャンバ内に板状体を導くとともに、作業を終了した前記板状体を前記チャンバから排出するための搬送装置において、前記チャンバの上縁よりも上方の水平面上で移動するハンドリングアームと、前記チャンバ内の作業台の周囲で昇降動作を行なう受け台とを具備し、前記ハンドリングアームと前記受け台とを組合わせて前記板状体を搬送するようにしたことを特徴とする板状体の搬送装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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