特許
J-GLOBAL ID：200903085717902476
カンチレバーとその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-274681
公開番号（公開出願番号）：特開平8-170964
出願日： 1994年11月09日
公開日（公表日）： 1996年07月02日
要約：
【要約】【目的】 製造工程上の制約なく、再現性良く同じ厚さ、即ち安定した性能(同じ共振周波数を有する)のカンチレバーを提供する。【構成】 本発明のカンチレバーは、可撓性プレートと、これを支持する基体と、前記可撓性プレートの先端付近に固定された針状チップとからなるカンチレバーにおいて、前記可撓性プレートが窒化珪素膜及びガラス板からなり、前記基体がシリコンからなり、前記針状チップが窒化珪素からなる。
請求項（抜粋）：
可撓性プレートと、これを支持する基体と、前記可撓性プレートの先端付近に固定された針状チップとからなるカンチレバーにおいて、前記可撓性プレートが窒化珪素膜及びガラス板からなり、前記基体がシリコンからなり、前記針状チップが窒化珪素からなることを特徴とするカンチレバー。
IPC (2件)：
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