特許

J-GLOBAL ID：200903085721080235

ビームプロファイル測定装置及びレーザ加工装置

発明者： 鈴木 寛之
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-317718
公開番号（公開出願番号）：特開2008-128987
出願日： 2006年11月24日
公開日（公表日）： 2008年06月05日
要約：

【課題】簡単かつ安価な構成でトップハット形状のビームプロファイルに高いピークの発生有無をモニターできるレーザビームのプロファイル測定装置を得ること。【解決手段】レーザ発振器1から射出されたレーザビームの強度分布をトップハット形状に整形するトップハット光学系2と、トップハット光学系2を通過したレーザビームの光路上に配置され、前記トップハット形状上に発生する高ピーク領域のレーザビームを透過する位置に円弧状の開口部が設けられているアパーチャ13と、アパーチャ13を通過したレーザビームの強度を測定して判断する測定手段である光電素子14及び制御装置15とを備えている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

強度分布がトップハット形状をしたレーザビームの光路上に配置され、前記トップハット形状上に発生する高ピーク領域のレーザビームを透過する位置に円弧状の開口部が設けられているアパーチャと、 前記アパーチャを通過したレーザビームの強度を測定して一定値を超える強度の存在有無を判断する第1の測定手段と を備えていることを特徴とするビームプロファイル測定装置。

IPC (6件)：

G01J 1/02 ,  B23K 26/073 ,  B23K 26/08 ,  B23K 26/067 ,  G01B 11/24 ,  H01S 3/00

FI (7件)：

G01J1/02 L ,  B23K26/073 ,  B23K26/08 B ,  B23K26/067 ,  G01B11/24 K ,  H01S3/00 B ,  H01S3/00 F

Fターム (32件)：

2F065AA52 ,  2F065FF02 ,  2F065GG04 ,  2F065HH13 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ18 ,  2F065LL00 ,  2F065LL28 ,  2F065LL30 ,  2F065NN17 ,  2F065NN20 ,  2F065SS09 ,  2G065AA04 ,  2G065AA11 ,  2G065AB05 ,  2G065AB14 ,  2G065AB30 ,  2G065BA09 ,  2G065BB07 ,  2G065BB11 ,  2G065DA20 ,  4E068AF00 ,  4E068CD03 ,  4E068CD05 ,  4E068CD11 ,  4E068CE02 ,  5F172NN23 ,  5F172NP03 ,  5F172NP18 ,  5F172NR11 ,  5F172ZZ01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• レーザ装置、波長変換素子、レーザ発振器、波長変換装置およびレーザ加工方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-230281   出願人：松下電器産業株式会社