特許
J-GLOBAL ID：200903085724147730
プローブカード
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-304308
公開番号（公開出願番号）：特開平5-144895
出願日： 1991年11月20日
公開日（公表日）： 1993年06月11日
要約：
【要約】【構成】プローブカードの探針1がケルビン接続された二股構造になっており、半導体素子のボンディングパッド2または7に対しこの二股構造の探針1を接蝕させる構成を有している。【効果】半導体素子の電気的特性の検査または測定を安定した測定精度で行なうことが出来る。また、半導体素子の小型化に伴なうボンディングパッドの縮小化に対しても、安定してケルビン接続した探針をボンディングパッドに接触させることが出来る。
請求項（抜粋）：
半導体素子などの電気的特性を検査または測定する際に用いられるプローブカードに於いて、半導体素子の個々のボンディングパットに対して2本ずつ対応させる探針を有し、その2本の探針の先がケルビン接続されて1本の探針として半導体素子の個々のボンディングパットに接触される二股構造の探針を備える事を特徴とするプローブカード。
IPC (2件)：
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