ウエーハの保管/輸送方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋昌久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-245465
公開番号（公開出願番号）：特開平9-069557
出願日： 1995年08月30日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：

【要約】【課題】本発明はポリプロピレンその他の有機樹脂で形成したウエーハ収納ケース内にウエーハを保管した場合においても、該ウエーハに有機物が付着する事なく、高品質な状態を維持して保管若しくは輸送が可能なウエーハの保管/輸送方法を提供する。【解決手段】本発明は、ポリプロピレンその他の有機樹脂で形成したウエーハ収納ケース内にウエーハを保管する場合に、前記ケース内温度を-50°C〜15°C、好ましくは-50°C〜10°Cに設定して保管する事により、ウエーハ表面の有機物の付着が大幅に低減、より具体的にはウエーハ保管中の付着有機物の増加を実質的に0にする事を知見してなされたものである。

請求項（抜粋）：

有機樹脂で形成したウエーハ収納ケース内にウエーハを保管してウエーハの保管若しくは輸送する方法において、前記ケース内温度を-50°C〜15°C、好ましくは-50°C〜10°Cに設定して保管する事を特徴とするウエーハの保管/輸送方法

IPC (3件)：

H01L 21/68 , H01L 21/304 321 , H01L 21/304 341

FI (3件)：

H01L 21/68 T , H01L 21/304 321 A , H01L 21/304 341 C

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