特許
J-GLOBAL ID:200903085736259398

自動焦点装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 北村 欣一 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-148381
公開番号(公開出願番号):特開2000-338384
出願日: 1999年05月27日
公開日(公表日): 2000年12月08日
要約:
【要約】【課題】レーザーダイオード41から照射したレーザー光を被測定物Mで反射させ、ナイフエッジ45aを備えた遮光板45を介して1対の光電素子46a・46bで受光させて対物レンズと被測定物Mとの距離を求める場合、外乱光の影響を受けやすく、外乱のため測定誤差が生じあるいは測定不能になる。【解決手段】レーザーダイオード41の照射するレーザー光を例えば1MHz程度の変調周波数で変調し、受光信号を復調することにより外乱の影響を除去するようにした。
請求項(抜粋):
対物レンズからレーザー光を照射するレーザー光源を備え、被測定物で反射したレーザー光を受光して電気信号に変換する1対の光電素子を光軸を挟んで接合して並設すると共に上記受光されたレーザー光を光電素子に合焦させるレンズと、該レンズの前方に配設され1対の光電素子の接合線に対して平行なナイフエッジを備えた遮光板とを有し、両光電素子の受光量を比較して被測定物と対物レンズとの相対距離を調節する自動焦点装置において、上記レーザー光源が照射するレーザー光を所定の変調周波数で変調する変調手段と、上記1対の光電素子で変換された電気信号から変調周波数以外の成分を除去するフィルタ手段と、フィルタ手段を通過した電気信号を復調する復調手段とを備えたことを特徴とする自動焦点装置。
FI (2件):
G02B 7/11 N ,  G02B 7/11 H
Fターム (14件):
2H051AA11 ,  2H051AA13 ,  2H051BA24 ,  2H051BA33 ,  2H051CB05 ,  2H051CB19 ,  2H051CB24 ,  2H051CB29 ,  2H051CC02 ,  2H051CC12 ,  2H051CE07 ,  2H051CE09 ,  2H051CE13 ,  2H051GB08
引用特許:
審査官引用 (6件)
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