特許

J-GLOBAL ID：200903085739620580

研磨用砥石

発明者： 廣川 一人 ,  檜山 浩國 ,  和田 雄高 ,  松尾 尚典
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-219670
公開番号（公開出願番号）：特開2001-105329
出願日： 2000年07月19日
公開日（公表日）： 2001年04月17日
要約：

【要約】【課題】 研磨速度の安定性、段差特性、セルフストップ機能等を各種の研磨対象物に対して良好に発揮できる研磨用砥石を提供する。【解決手段】 砥粒11と、薬剤12と、これらを結合するバインダ13とから構成された砥石10である。砥粒11が微細砥粒集合体であることが好ましく、薬剤12はカプセルに封入して固定するようにしてもよい。

請求項（抜粋）：

砥粒と、薬剤と、これらを結合するバインダとから構成されたことを特徴とする研磨用砥石。

IPC (6件)：

B24D 3/02 310 ,  B24D 3/00 330 ,  B24D 3/00 350 ,  B24D 3/34 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304

FI (7件)：

B24D 3/02 310 D ,  B24D 3/00 330 C ,  B24D 3/00 350 ,  B24D 3/34 Z ,  H01L 21/304 622 B ,  H01L 21/304 622 M ,  H01L 21/304 622 F

Fターム (16件)：

3C063AA01 ,  3C063AB01 ,  3C063BB02 ,  3C063BB03 ,  3C063BB04 ,  3C063BB07 ,  3C063BB14 ,  3C063BC03 ,  3C063BD01 ,  3C063BD05 ,  3C063CC01 ,  3C063EE10 ,  3C063FF07 ,  3C063FF09 ,  3C063FF18 ,  3C063FF30