特許
J-GLOBAL ID：200903085739823804
クリーン乾燥装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後田 春紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-359926
公開番号（公開出願番号）：特開平5-177109
出願日： 1991年12月27日
公開日（公表日）： 1993年07月20日
要約：
【要約】【目的】 洗浄された多数の宇宙開発用部品、半導体・IC関係用部品、航空用精密部品、その他清浄度を要求する部品やクリーンシューズを痛めることなく迅速に、且つ清浄度を保持して乾燥する。【構成】 乾燥室1の左右にHEPAフィルター4とプレフィルター7を固設して夫々送気用エアチャンバー5と吸気用エアチャンバー8とを設けて清浄空気を循環させ、且つ乾燥室1の背板18の背面部に吸気用エアチャンバー8と第2の送気ダクト19を介して連通された送気管20が配設され、該送気管20には背板18を貫通して、所定間隔で複数段に亘って乾燥室1内に開口した複数個の排気管が連結されている。
請求項（抜粋）：
乾燥室の前部を開閉扉により開閉自在とし、且つ前記乾燥室の左側壁の内方寄りに間隔を置いて第1のHEPAフィルターを固設して、前記左側壁とで送気用エアチャンバーを形成すると共に、前記乾燥室の右側壁の内方寄りに間隔を置いてプレフィルターを固設して、前記右側壁とで吸気用エアチャンバーを形成し、且つ前記吸気用エアチャンバーと送気用エアチャンバーとは第1の送気ダクトにより連通され、該第1の送気ダクトには第1の送風機が備えられると共に、その下流側の第1の送気ダクトには夫々第1の冷却コイルと第1の再熱コイルが付設され、且つ前記送気用エアチャンバーには第1の補助ヒーターが備えられ、更に前記乾燥室の背板の背面部には、前記吸気用エアチャンバーと第2の送気ダクトを介して連通された通気管が配設され、且つ該通気管には前記背板を貫通して、所定間隔で複数段に亘って乾燥室内へ開口された複数個の送気管が連結されると共に、前記第2の送気ダクトには第2の送風機が備えられると共に、その下流側の第2の送気ダクトには夫々第2の冷却コイル,第2の再熱コイル,第2のHEPAフィルターおよび第2の補助ヒーターが付設されたことを特徴とするクリーンシューズ乾燥装置。
IPC (3件)：
B01D 46/00
, B01D 46/42
, F26B 3/02
