特許

J-GLOBAL ID：200903085745453369

感光性重合体組成物及びパターン製造法及び電子部品

発明者： 山崎 範幸
出願人/特許権者： 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
代理人 (1件)： 高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-364102
公開番号（公開出願番号）：特開2002-169284
出願日： 2000年11月30日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
要約：

【要約】【課題】本発明は、感度が高く、パタ-ン形状、解像性及び保存安定性に優れる耐熱性感光性重合体組成物、パターンの製造方法及び信頼性の高い電子部品を提供する。【解決手段】(a)アルカリ水溶液可溶性のポリイミド前駆体又はポリイミド、(b)光により酸を発生する化合物、並びに、(c)芳香環に直接結合した炭素上に水酸基を有する三級アルコールを少なくとも1つ以上有する化合物を含有してなる感光性重合体組成物及びパターン製造法及び電子部品。

請求項（抜粋）：

(a)アルカリ水溶液可溶性のポリイミド前駆体又はポリイミド、(b)光により酸を発生する化合物、並びに、(c)芳香環に直接結合した炭素上に水酸基を有する三級アルコールを少なくとも1つ以上有する化合物を含有してなる感光性重合体組成物。

IPC (10件)：

G03F 7/037 501 ,  C08G 73/10 ,  C08K 5/05 ,  C08K 5/06 ,  C08L 79/08 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312

FI (11件)：

G03F 7/037 501 ,  C08G 73/10 ,  C08K 5/05 ,  C08K 5/06 ,  C08L 79/08 A ,  C08L 79/08 Z ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 Z ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/312 B ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (99件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025CB25 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H096AA00 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096BA20 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H096JA04 ,  4J002CM041 ,  4J002EC047 ,  4J002EC057 ,  4J002ED057 ,  4J002EM006 ,  4J002EQ036 ,  4J002EV256 ,  4J002EV296 ,  4J002FD200 ,  4J002GH00 ,  4J002GP03 ,  4J002GQ01 ,  4J002HA05 ,  4J043PA02 ,  4J043PA19 ,  4J043QB15 ,  4J043QB23 ,  4J043QB24 ,  4J043QB26 ,  4J043QB31 ,  4J043RA35 ,  4J043SA06 ,  4J043SA61 ,  4J043SA62 ,  4J043SA71 ,  4J043SA81 ,  4J043SB01 ,  4J043SB03 ,  4J043TA14 ,  4J043TA22 ,  4J043TA26 ,  4J043TA32 ,  4J043TA71 ,  4J043TB01 ,  4J043UA032 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA141 ,  4J043UA151 ,  4J043UA152 ,  4J043UA252 ,  4J043UA261 ,  4J043UA262 ,  4J043UA362 ,  4J043UB011 ,  4J043UB021 ,  4J043UB061 ,  4J043UB062 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB131 ,  4J043UB141 ,  4J043UB152 ,  4J043UB241 ,  4J043UB281 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043UB312 ,  4J043VA041 ,  4J043VA081 ,  4J043ZA22 ,  4J043ZA23 ,  4J043ZB03 ,  4J043ZB22 ,  5F058AA10 ,  5F058AB06 ,  5F058AB07 ,  5F058AC02 ,  5F058AC07 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01 ,  5F058AH01 ,  5F058AH02 ,  5F058AH03