特許
J-GLOBAL ID：200903085749438631
ウェット処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-231848
公開番号（公開出願番号）：特開平7-090626
出願日： 1993年09月17日
公開日（公表日）： 1995年04月04日
要約：
【要約】【目的】 この発明は、処理液の循環手段の流量を可変として、ロット処理待ち状態の負荷を軽減し、省エネ化を図ることができるウェット処理装置を得ることを目的とする。【構成】 薬液1の循環経路中には、大流量の第1のエアーポンプ8aと小流量の第2のエアーポンプ8bとが並設され、さらに三方弁9が配設されている。薬液1中の異物数はダストカウンタ10により常時検出されている。そして、ダストカウンタ10の出力を演算処理して三方弁9を制御する制御手段11が設けられている。この制御手段11は、異物数の変化量がゼロ、すなわち異物数が定常状態にあり異物がフィルタ5で十分除去されている時に第2のエアーポンプ8bを作動させて、エアーの消費量を軽減させている。
請求項（抜粋）：
処理液を貯液する処理槽と、両端がこの処理槽に接続された処理液の循環配管と、この循環配管の経路中に配設された処理液の循環手段と、前記循環配管の経路中に配設されたフィルタとを有するウェット処理装置において、前記処理液中に含まれる異物数を検出するダストカウンタと、前記ダストカウンタの出力から前記処理液中に含まれる異物数の変化量を算出し、前記異物数の変化量に応じて前記処理液の循環手段の流量を制御する制御手段とを備えたことを特徴とするウェット処理装置。
IPC (2件)：
C23F 1/08 101
, H01L 21/306
