特許

J-GLOBAL ID：200903085751367776

走査型電子顕微鏡

発明者： 森 太 ,  深澤 和彦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-264792
公開番号（公開出願番号）：特開平8-129985
出願日： 1994年10月28日
公開日（公表日）： 1996年05月21日
要約：

【要約】【目的】 ステージのバックラッシュ、及び送りねじのピッチ誤差がある場合でも、円滑に且つ正確に観察視野を移動させる。【構成】 試料9上を電子ビーム3で走査し、試料9上の観察視野内の拡大像をCRTディスプレイ25に表示する。試料9が載置されるステージ12X,12Yは、マイクロステップ駆動方式で制御されているパルスモータ14X,14Yに回転される送りねじ13X,13Yを介して駆動される。試料9の代わりに基準ウエハを載置して、ステージ12X,12Yを反転させて移動させることにより、バックラッシュ量BX(±)及び送りねじのピッチ誤差ΔP(X)を求めてメモリ33に格納しておき、ステージ12X,12Yを駆動する際にステージ制御手段19がそれらの補正を行う。

請求項（抜粋）：

試料上で電子線を走査し、前記試料から発生する2次電子を検出して得られる画像信号を用いて画像表示手段上に前記試料上の所定の観察視野内の画像を表示する走査型電子顕微鏡において、前記試料を前記電子線の走査面上で2次元的に移動させる送りねじ方式のステージと、該ステージの2つの送りねじをそれぞれ回動駆動する2つのパルスモータと、該2つのパルスモータをマイクロステップ駆動するマイクロステップ駆動制御手段と、前記ステージの移動方向が反転する際のバックラッシュ量を記憶するバックラッシュ量記憶手段と、前記試料上で前記観察視野を所定の移動量だけ移動させる際に、前記ステージの直前の移動、これからの移動方向、及び前記バックラッシュ量記憶手段の記憶内容に基づいて前記所定の移動量を補正し、該補正された移動量に対応する角度だけ前記マイクロステップ駆動制御手段を介して前記パルスモータを駆動する視野移動制御手段と、を有することを特徴とする走査型電子顕微鏡。