電流バラスティングESD高感度装置のための装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山田行一 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-550813
公開番号（公開出願番号）：特表2003-519926
出願日： 2001年01月04日
公開日（公表日）： 2003年06月24日
要約：

【要約】ESD保護装置用電流バラスティング回路は、ESD保護装置コンタクト電極及び通常の導体パッドとの間で非交差伝導性のストリップを接続する。接続ストリップは、ESD装置の外部導体パッド及びコンタクト電極の間で絶縁したバラスティング抵抗器を形成する。抵抗器を安定させるマルチプル操作を高めるコンタクトストリップ間で側部抵抗が形成される。伝導性ストリップは、金属、ポリシリコン又はポリシリコン層、金属層及び相互接続バイアの垂直曲折直列結合から作られる。平行導電性パス間の側部抵抗は、ドレイン及びソース電極をセグメント化して高められる。MOSESD装置のゲート電極は、ドレイン及びソース領域をセグメント化するためにストリップの各々の対の間で局所的に延びる。伝導性のストリップ間の側部抵抗は、追加のゲート電極を画成して高められ、ESD装置のゲート電極と平行及び伝導性のストリップの間で延びる部分を有し、複合のESD装置は、ESD電流をそらすために追加のパスを提供するよう平行に接続される。

請求項（抜粋）：

過電圧状態から電子回路のノードを保護するための、第一の領域及び第二の領域を有している静電放電高感度(ESD)装置の電流を安定させる装置であって、前記装置は、第一の領域にそれぞれの電気コンタクトを提供するために、ESD高感度装置の第一の領域に複数の離隔配置された接続ターミナルを備え、第一の領域及び離隔配置された接続ターミナルは、離隔配置された接続ターミナルの連続したものの間で、側部抵抗を示すように構成されており、各々の第一の端及び第二を有する複数の絶縁した非交差伝導性のストリップとを備え、絶縁した非交差伝導性のストリップの各々の第一の端部が電気的にノードに接続しており、絶縁した非交差伝導性のストリップの各々の第二の端部が複数の離隔配置された接続ターミナルのそれぞれ異なる一つに接続している装置。

IPC (5件)：

H01L 27/06 311 , H01L 21/822 , H01L 21/8234 , H01L 27/04 , H01L 27/088

FI (3件)：

H01L 27/06 311 A , H01L 27/08 102 F , H01L 27/04 H

Fターム (16件)：

5F038AR09 , 5F038AR21 , 5F038AV06 , 5F038BH02 , 5F038BH13 , 5F038EZ20 , 5F048AA02 , 5F048AC01 , 5F048BF06 , 5F048BF16 , 5F048CC01 , 5F048CC06 , 5F048CC08 , 5F048CC15 , 5F048CC16 , 5F048CC18

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平2-273971
特開平2-105562
保護回路および保護回路を用いた電子回路
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-262476 出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社

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